淺談氣體鋼瓶
氣源一般分為氣體鋼瓶和氣體發(fā)生器兩種形式：
氣體鋼瓶種類齊全，純度從工業(yè)級到高純度都可購買得到，而且氣體輸出穩(wěn)定、壓力波動
小。因為高壓氣體鋼瓶的這些特點，所以其特別適用于以下幾種情況：1）氣體純度要求很高
（99.999%及以上） ；2）要求氣體壓力波動很小的情況；3）氣體無法通過氣體發(fā)生器制取的情
況；4）氣體使用量特別大的情況，使用氣體發(fā)生器很難提供穩(wěn)定的氣體流量和壓力；5）比較
容易購買到高壓鋼瓶氣體時，使用成本比氣體發(fā)生器低。
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